真空等離子設(shè)備廣泛應(yīng)用于產(chǎn)品表面活化/清洗、蝕刻、去膠、通過其處理，能夠 改善材料表面的浸潤能力，使多種材料能夠進行涂覆、鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。
產(chǎn)品詳情
半導(dǎo)體封裝、3C 電子、線路板行業(yè)、生物醫(yī)療、新能源、國防航空。
1. AL6061 材質(zhì)真空腔體：軍工級別密封，避免氣體泄露，實現(xiàn)高效卓越的真空度，為等離子體創(chuàng)造極佳的反應(yīng)條件;
2. 采用高質(zhì)量等離子射頻電源：13.56Mhz,確保高能量，高密度，均勻等離子體產(chǎn)生，確保出眾的表面處理效果;
3. 真空系統(tǒng)： 雙級旋片真空泵，真空專用電磁角閥、充氣閥、KF40 不銹鋼真空波紋管；耐高溫、抗氧化、無排放污染，泵具有可自行緩解溫度過高的散熱體系，無需水冷;
4. 高精度氣體流量監(jiān)測系統(tǒng)：三路工藝氣體配置(氬氣、氧氣、氮氣），雙路氣流控制，比例可調(diào)，采用高精度電子質(zhì)量流量計(MFC)、氣體管路及閥件;
5. 電極系統(tǒng)，多層電極隔板設(shè)計：結(jié)構(gòu)對稱損耗小，該設(shè)計對等離子激發(fā)空間均勻 性大大改善，在同一平面上等離子清洗的速率更加一致，控制電力參數(shù)由系統(tǒng)結(jié) 構(gòu)設(shè)計獲得，能很好的控制電極的溫度均一性，使電極對等離子的可控性大大提高，同時使電極間空間利用率達到最大;
6. 自主研發(fā)等離子體控制系統(tǒng): 可根據(jù)腔體環(huán)境精準(zhǔn)控制等離子體發(fā)生時間和反應(yīng)強度，可進行多步工藝流程處理，采用知名品牌電器元件, 7”真彩觸摸屏，可編程控制器，可在線設(shè)定、修改、監(jiān)控真空壓力、處理時間、氣體流量、等離子功率等工藝參數(shù)，采用配方式參數(shù)系統(tǒng)，便捷切換不同工藝流程，并具有故障報警、工藝存儲、密碼等級管理等多種功能;
7. 強大的全面安全防護系統(tǒng)：溫度安全防護功能，過載防護功能，短路斷路報警防護功能，非法操作提示、清潔結(jié)束提示，各種誤操作保護功能等;
8. 處理全程無污染 ：等離子清洗機本身是很環(huán)保的設(shè)備，無產(chǎn)生任何污染，處理過程也無產(chǎn)生任何污染。
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序號 |
項目 |
參數(shù) |
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1 |
腔體容量 |
60 升 |
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2 |
電極板數(shù)量 |
7 層 |
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3 |
載物托盤尺寸/數(shù)量 |
L310mm x W350mm / 6 層 |
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4 |
電極固定方式 |
插拔可拆卸 |
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5 |
載物托盤與電極板間距 |
H：35mm |
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6 |
等離子電源 |
13.56MHz/500W 連續(xù)調(diào)節(jié)自動阻抗匹配,可連續(xù)長時間工作。 |
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7 |
氣體流量控制 |
0-500mL/minMFC 氣體質(zhì)量流量計精確控制流量 |
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8 |
反應(yīng)氣體 |
3 路，（氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體） |
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9 |
工藝氣體供氣管路 |
Φ10x6.5mm 軟管 |
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10 |
腔體溫度 |
常溫 |
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11 |
工作真空度 |
10-100Pa |
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12 |
真空泵 |
雙級旋片真空泵 |
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13 |
真空泵速率 |
60m³/h |
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14 |
真空測定系統(tǒng) |
皮拉尼真空硅管 測量范圍：1.0×10 5 ～1×10 -1 Pa |
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15 |
真空排氣系統(tǒng) |
油霧過濾器 |
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16 |
破真空系統(tǒng) |
電磁閥+調(diào)節(jié)閥+消音器 |
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17 |
抽真空時間 |
80s 以內(nèi) |
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18 |
破真空時間 |
≤15s |
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19 |
輸入氣壓檢測系統(tǒng) |
3 路氣壓自動報警 |
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20 |
壓縮空氣要求 |
0.6~0.8MPa |
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21 |
整機功率 |
4.0KW |
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22 |
電源 |
AC380V,50/60Hz，三相五線 30A |
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23 |
外形尺寸 |
W900×D930×H1650(mm) 不含三色燈高度 |
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24 |
腔體尺寸 |
W375×D455×H375(mm) |
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25 |
重量(設(shè)備主機/真空泵） |
450KG |
